一种用于洁净室的精密温湿度空调系统设计与应用

祖国 余(江苏中电创新环境科技有限公司，中国)

摘要

针对高净化等级洁净室对温湿度控制精度（温度波动±0.05℃以内、湿度波动±1%以内）及气流均匀性的严苛需求，设计一种用于洁净室的精密温湿度空调系统。该系统集成精密新风空调系统、精密冷热负荷调节系统、低导热围护结构和微孔式气流分布系统四大核心模块，通过高精度快速反应组件、渗透型均流结构、可调节负荷单元及二次温控机制，解决传统系统混风不均、二次负荷难以消除、控制精度不足等问题。实践表明，该系统可显著降低温湿度波动范围，优化洁净室内温度场与气流组织均匀性，有效规避二次负荷超限影响，满足百级洁净室等高端场景的环境控制需求。

关键词

洁净室；温湿度控制；空调系统；精密调节；气流组织；CFD

参考

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