集成电路制造工业大气环境影响评价及关注问题探讨

会锦 袁(浙江益驰思环境科技有限公司，中国)
弘 张(浙江益驰思环境科技有限公司，中国)

摘要

随着集成电路制造产业的快速发展，其大气环境影响日益凸显。在此背景下，科学合理的大气环境影响评估对该行业实现可持续发展起着至关重要的作用。此次研究深入分析此领域现存如监测数据精准度欠佳、评估方式存有局限、污染物排放的标准不够完备以及环境管理监督工作落实不到位等问题。针对性推出对监测设备的升级以及布点位置的优化、评估方法的创新、动态化区域分级标准的健全、协同治理体系的搭建等方面的一套优化举措。借由实际事例并结合相关数据予以验证其有效性，为提高集成电路制造产业大气环境评估水准、推进该行业的绿色化发展提供关键参考依据。

关键词

集成电路制造；大气环境影响评价；监测数据优化；评价方法创新；环境协同治理

参考

庄同曾. 集成电路制造技术:原理与实践. 电子工业出版社, 1987.

丁熠, 刘佳甲, and 何鹏程. “集成电路制造装备发展现状及展望.”电子工艺技术 000.4(2024):5.

陶寅. “集成电路制造工业大气环境影响评价及关注问题探讨.”上海节能 003(2022):000.

DOI: http://dx.doi.org/10.12345/zyyhbjz.v3i7.30532